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半导体洁净室环境应用


飞鱼工艺机器人采用特殊材料和工艺，确保机器人在运行过程中不产生尘埃、颗粒等污染物，满足半导体洁净室的高洁净度要求。


在某半导体企业洁净室中，飞鱼工艺机器人成功应用于晶圆盒的搬运工作。具体实施过程如下：

  1. 项目前期，飞鱼机器人团队对企业洁净室环境进行详细考察，制定针对性解决方案。

  2. 根据洁净室环境和生产需求，对机器人进行定制化设计和改造。

  3. 机器人安装调试，确保各项性能指标满足生产要求。

  4. 对企业操作人员进行培训，确保机器人顺利投入使用。